半導体産業向けアドバンストセラミックス

アドバンストセラミックスは、高性能基板、電子部品パッケージ、ヒートシンク、半導体製造装置部品など、半導体産業において幅広い用途に使用されています。半導体製品は従来の製品に比べて大幅に改良されており、産業の急速な発展のニーズに応えています

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アドバンストセラミックスの特徴

アドバンストセラミックス は、優れた電気絶縁性能、高硬度、耐摩耗性、高温耐性、耐食性、放熱性能などの優れた物理的および化学的特性を備えた非金属材料の一種です

Qï=半導体製造ではどのような種類のセラミック材料が一般的に使用されていますか?
A - 半導体製造で使用される一般的なセラミック材料には、アルミナ (Al®O®)、窒化シリコン (Si®N®)、炭化シリコン (SiC)、および窒化アルミニウム (AlN) が含まれます。これらの材料は、優れた熱伝導性、電気絶縁性、化学的安定性を理由に選択されています。[11] <12> <13> <14> <15> <16> <17> <18> <19> <20> <21> <22>Qï=半導体産業におけるセラミックの典型的な用途は何ですか?<23> <24> <25> <26>セラミック部品は、ウェーハハンドリング、基板キャリア、エッチングおよび堆積装置などのさまざまな半導体製造プロセス、および熱管理ソリューションで使用されます。極限条件下での高純度および安定性により、これらの精密用途に最適です。<27> <28> <29> <30> <31> <32><33> <34> <35> <36> <37> <38>Qï=セラミック材料は半導体デバイスの熱管理にどのように貢献しますか?<39> <40> <41> <42>窒化アルミニウムや炭化ケイ素などのセラミック材料は、熱伝導率が高いため、半導体デバイスに使用されます。これらは熱を効率的に放散します。これは過熱を防ぎ、電子部品の信頼性と寿命を確保する上で重要です。<43> <44> <45> <46> <47> <48><49> <50> <51> <52> <53> <54>Q�半導体製造に使用されるセラミック材料は化学的腐食に耐性がありますか?<55> <56> <57> <58>Aï=はい、半導体製造に使用されるセラミック材料は化学的腐食に対して非常に耐性があります。半導体プロセスでは金属やポリマーが劣化する可能性のある過酷な化学物質やプラズマ環境にさらされることが多いため、この耐性は不可欠です。[59] <60> <61> <62> <63><64> <65> <66> <67> <68>Qã セラミック部品を特定の半導体用途に合わせてカスタマイズできますか?<69> <70> <71> <72>A: はい、セラミック コンポーネントは、半導体アプリケーションの特定のニーズを満たすために高度にカスタマイズできます。カスタマイズには、精密な機械加工、特定の形状、熱的、電気的、機械的要件に基づく材料の選択が含まれます。これにより、セラミック部品が製造装置内に完全に適合し、半導体業界の高い基準を満たすことが保証されます。<73> <74> <75> <76> <77><78> <79> <80> <81>

先端セラミックスの半導体産業への応用

1. セラミック基板

アルミナ、窒化ケイ素、窒化アルミニウム、炭化ケイ素セラミックスは、良好な熱伝導性、高温耐性、耐食性を備えており、電子部品や集積回路用の基板の製造に使用できます。

2.セラミックウエハトレイ

アルミナおよび炭化ケイ素セラミックは高温耐性と耐摩耗性を備えており、RTA(急速熱アニーリング)、PVD(物理的蒸気)などのさまざまなプロセスでウェーハを搬送するためのトレイの製造に使用できます。蒸着)、ICP(誘導結合プラズマ)、CMP(化学機械研磨)により、良好な処理効果と高効率が得られます。

3.セラミック真空チャック

アルミナおよび炭化ケイ素セラミックスは良好な仕上げ面を持ち、ポンピングエアが適用されたときの強力な吸着力を備えています。また、セラミック真空チャックは高温耐性があり、生産プロセス中のウェーハの吸着および搬送に広く使用されています。 ;

4.ウエハーボートとボートブラケット

炭化ケイ素と石英は、高温耐性と優れた耐摩耗性を備え、密度が低く、重量が軽いため、ウェーハを搬送するためのウェーハボートおよびボートブラケットの製造に適しています。拡散炉での拡散酸化処理。

<31​​> <32>5.拡散炉管<33> <34>石英管は高温耐性と優れた熱安定性を備えており、半導体ウェーハウェーハの拡散および酸化プロセス用の<35>拡散炉管<36>として使用できます。<37>

カスタマイズリクエストのプロセス

â© 図面とサンプルの提供

â© 製造ソリューションおよび製造方法の評価

→コスト計算と見積り

â© モジュール費用の支払い

→サンプル納品

→サンプルの評価と確認

â© 大量注文の前払い

→量産

â© 製品の一括納品

サポート

ATCERA は、現在の標準製品に加えて、ユーザーのアプリケーション シナリオやパラメータに応じてソリューションをカスタマイズし、顧客に最適な製品とサービスを提供することもできます。

よくある質問

当社はアルミナ、ジルコニア、炭化ケイ素、窒化ケイ素、窒化アルミニウム、石英セラミックスなどの先進的なセラミック材料に主に焦点を当てていますが、常に新しい材料と技術を模索しています。特定の材料要件がある場合は、当社までご連絡ください。お客様のニーズを満たすか、適切なパートナーを見つけるために最善を尽くします。

絶対に。当社の技術チームはセラミック材料に関する深い知識と製品設計における豊富な経験を持っています。お客様の製品の最適なパフォーマンスを確保するために、材料選択のアドバイスと製品設計のサポートを喜んで提供させていただきます

当社には固定の最低注文金額要件はありません。私たちは常にお客様のニーズを満たすことに重点を置き、注文の規模に関係なく、高品質のサービスと製品を提供するよう努めています

セラミック製品に加えて、当社は以下のような追加サービスも提供します。お客様のニーズに基づいて、お客様自身で製造したブランクまたは半完成ブランクを使用したカスタマイズされたセラミック加工サービス。外部委託のセラミックパッケージングおよびメタライゼーションサービスにご興味がございましたら、詳細についてお問い合わせください。当社は、お客様のさまざまなニーズを満たすワンストップ ソリューションを提供することに常に取り組んでいます。

はい、そうです。世界中のどこにお住まいであっても、ご注文の商品を安全かつタイムリーにお届けいたします。

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