1. セラミック基板

アルミナ、窒化ケイ素、窒化アルミニウム、炭化ケイ素セラミックスは、良好な熱伝導性、高温耐性、耐食性を備えており、電子部品や集積回路用の基板の製造に使用できます。

２．セラミックウエハトレイ

アルミナおよび炭化ケイ素セラミックは高温耐性と耐摩耗性を備えており、RTA(急速熱アニーリング)、PVD(物理的蒸気)などのさまざまなプロセスでウェーハを搬送するためのトレイの製造に使用できます。蒸着）、ICP（誘導結合プラズマ）、CMP（化学機械研磨）により、良好な処理効果と高効率が得られます。

3．セラミック真空チャック

アルミナおよび炭化ケイ素セラミックスは良好な仕上げ面を持ち、ポンピングエアが適用されたときの強力な吸着力を備えています。また、セラミック真空チャックは高温耐性があり、生産プロセス中のウェーハの吸着および搬送に広く使用されています。 ;

４．ウエハーボートとボートブラケット

炭化ケイ素と石英は、高温耐性と優れた耐摩耗性を備え、密度が低く、重量が軽いため、ウェーハを搬送するためのウェーハボートおよびボートブラケットの製造に適しています。拡散炉での拡散酸化処理。

<31​​> <32>5.拡散炉管<33> <34>石英管は高温耐性と優れた熱安定性を備えており、半導体ウェーハウェーハの拡散および酸化プロセス用の<35>拡散炉管<36>として使用できます。<37>