静電真空チャックは、電圧を印加することでワーク（加工対象物）と電極間に発生するクーロン力を利用してワークを確実に吸着します。その主な利点は、ウェーハの表面全体に吸着力が均一に分布し、反りや変形が起こらないことです。一定かつ安定した吸着力により、ウエハの加工精度を保証するとともに、ウエハへの汚染やダメージを最小限に抑え、高真空環境にも適しています。
ブランド:
ATCERA商品番号:
AT-YHL-XP001材料
Alumina形状
Plateアプリケーション
Semiconductor , Photovoltaic Cell Industry
１．大気環境と真空環境の両方で使用可能です。
2．導体、半導体、絶縁体、多孔質材料を吸着可能
。
3．静電吸着エネルギー消費量が少ない簡素化されたクランプおよびハンドリング機構。
４．吸着力を均一に分散し、吸着時の局所的な応力を排除します。
5.大面積の薄物ワークを優しくサポートし、吸着時の傷やシワを防ぎます。
6.迅速な活性化と非活性化、物体の裏側に残留電位がないため、周囲の塵の吸引を防ぎます。
パネル製造、半導体チップのパッケージング、マイクロエレクトロニクス集積回路、精密光学部品の製造、太陽光発電の製造における真空ラミネートに最適です。
お客様の仕様に合わせた最適なアルミナ真空チャックをご提供いたします。当社の専任チームは、お客様の指示に細心の注意を払い、お客様の期待を超えるよう努めます。さらに、お客様固有の要件に合わせてカスタム サイズの柔軟性を提供します。
カスタマイズ要件が必要な場合は、特定のアプリケーション シナリオ、セラミック ボールの寸法、および必要な使用パラメータを提供してください。
仕様公差:
１．サイズ範囲: 05mm-0800mm
2．微細孔サイズ: 20-60um
3．気孔率: 30-50%
４．真空チャックの平面精度: 6-8 インチ <3um; 12インチ<5um
カスタマイズ要件:
1. 2、3、4、5、6、8、12 インチ、および非標準のカスタマイズの寸法、厚さ、形状を提供します
。２．ベースおよびフレームの材質は、アルミニウム合金、ステンレス鋼、セラミック、プラスチックなどからお選びいただけます。
| アルミナ微多孔真空チャック角型 | ||||
| アイテムNO. | 長さ(mm) | 幅(mm) | 厚み(mm) | 素材 |
| AT-YHL-XP001 | 305 | 305 | 14 | 316ステンレス+微多孔質セラミック(ブラウン) |
| AT-YHL-XP002 | 305 | 305 | 14 | 316ステンレス+微多孔質セラミック(ブラウン) |
| AT-YHL-XP003 | 420 | 275 | 20 | アルミニウム合金 + 微多孔質セラミックス |
| AT-YHL-XP004 | 450 | 200 | 20 | SKD61+多孔質セラミック |
| AT-YHL-XP005 | 520 | 520 | 20 | アルミニウム合金 + 微多孔質セラミックス |
| アルミナ微多孔真空チャック丸型 | |||
| アイテムNO. | 直径 (mm) | 厚み(mm) | 素材 |
| AT-YHL-XP006 | 174 | 10 | 316 ステンレス鋼 + 微多孔質セラミック |
| AT-YHL-XP007 | 220 | 35 | アルミナセラミックのみ |
| AT-YHL-XP008 | 230 | 16 | 316 ステンレス鋼 + 微多孔質セラミック |
| AT-YHL-XP009 | 239 | 12 | アルミニウム合金 + 微多孔質セラミックス |
| AT-YHL-XP010 | 240 | 12 | 316 ステンレス鋼 + 微多孔質セラミック |
| AT-YHL-XP011 | 286 | 20 | アルミナセラミックのみ |
| AT-YHL-XP012 | 320 | 16 | 316 ステンレス鋼 + 微多孔質セラミック |
| AT-YHL-XP013 | 325 | 12 | アルミニウム合金 + 微多孔質セラミック |
| 素材 | ９９％アルミナ（ＡＬ２Ｏ３） |
| 熱伝導率 | 24.0w/m.k |
| 電気絶縁 | ≤22.5KV、耐熱温度1600℃まで |
| 密度 | 3.83g/cm3 |
| 熱膨張係数 | 7*10-6/â |
| 曲げ強度(室温) | 310MPa |
| 圧縮強度（室温） | 2200MPa |
| 硬度(Hv) | 1650 |
| 破壊靱性 | 4.2MPa・m1/2 |
*この表は、当社のアルミナ製品および部品の製造に一般的に使用されるアルミナ素材の標準特性を示しています。カスタマイズされた酸化アルミニウム製品および部品の特性は、関与する特定のプロセスによって異なる場合があることに注意してください。
アルミナ真空チャックは、損傷の可能性を避けるために、適切な容器に慎重に梱包されています。
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１．アプリケーションシナリオに従って、ニーズを分析し、適切な材料と加工計画を選択します。
2. 専門チームが迅速に対応し、要求を確認してから 24 時間以内にソリューションと見積もりを提供します。
3. 柔軟なビジネス協力メカニズム、少なくとも 1 つの数量カスタマイズをサポートします。
4. 製品がお客様のニーズを満たしていることを確認するために、サンプルとテストレポートを迅速に提供します。
5. 使用コストを削減するために、製品の使用とメンテナンスに関する提案を提供します。
当社はアルミナ、ジルコニア、炭化ケイ素、窒化ケイ素、窒化アルミニウム、石英セラミックスなどの先進的なセラミック材料に主に焦点を当てていますが、常に新しい材料と技術を模索しています。特定の材料要件がある場合は、当社までご連絡ください。お客様のニーズを満たすか、適切なパートナーを見つけるために最善を尽くします。
絶対に。当社の技術チームはセラミック材料に関する深い知識と製品設計における豊富な経験を持っています。お客様の製品の最適なパフォーマンスを確保するために、材料選択のアドバイスと製品設計のサポートを喜んで提供させていただきます
当社には固定の最低注文金額要件はありません。私たちは常にお客様のニーズを満たすことに重点を置き、注文の規模に関係なく、高品質のサービスと製品を提供するよう努めています
セラミック製品に加えて、当社は以下のような追加サービスも提供します。お客様のニーズに基づいて、お客様自身で製造したブランクまたは半完成ブランクを使用したカスタマイズされたセラミック加工サービス。外部委託のセラミックパッケージングおよびメタライゼーションサービスにご興味がございましたら、詳細についてお問い合わせください。当社は、お客様のさまざまなニーズを満たすワンストップ ソリューションを提供することに常に取り組んでいます。
はい、そうです。世界中のどこにお住まいであっても、ご注文の商品を安全かつタイムリーにお届けいたします。
